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低温泵真空系统操作技术要点
  • 发布日期:2021-12-09      浏览次数:7
    •    低温泵内装有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它冷凝气体,保持冷凝液的蒸汽压力低于泵的极限压力,从而达到抽气的作用。低温抽气的主要功能是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。

      低温泵

        低温泵真空系统操作技术要点:
        1.在低温泵系统中,为了减少表面除气,有时需要用液氮冷却工作室壁。然而,此时应注意解释电离规读数。即使室壁没有冷却,液位计在低温系统中的位置也非常重要,尤其是它是否直接面对泵。由于电离真空计测量气体密度而不是压力,如果真空计中的气体温度是T1,系统中的温度是T2,电离真空计的压力读数是=P(T1/T2)1/2,其中P是系统中的压力。
        2.低温泵真空系统烘烤时要特别注意。因为低温泵怕热辐射,当系统烘烤到450时,泵的温度可能上升到工作范围之外。此时,可以在泵和系统之间插入一个水冷挡板作为热辐射屏蔽,但这会严重降低泵送速度。挡板可以做成蝶形结构,烘烤时旋转到遮挡位置,烘烤后再旋转回来。当挡板处于屏蔽位置时,系统的泵送速度降低75%。
        3.抽气系统运行过程中,系统操作人员应保证低温泵在工作过程中的热负荷不超过额定指标,特别要注意泵的一级吸附板上的热负荷。为了保证低温泵的热负荷不超过指标(尤其是一级的热负荷),应采用某种形式的挡板来减少向一级发出的辐射量。除了真空室壁附近的300K辐射外,一级还接收热辐射源,如镀膜室、加热丝或溅射放电。在许多过程中,热负荷可高达100至150瓦,这很容易超过功率为35至40瓦的膨胀机的容量.因此,有必要增加某种形式的挡板,以减少一级的辐射通量。一种更简单的方法是使用反射式非制冷挡板。如果不够,就要用带冷却的人字挡板。挡板可以用水或液氮冷却。
        4.低温泵在连续运行过程中,特别是当吸附剂被氦气饱和时,要特别注意防止瞬间断电,因为即使短时间断电,也会有氦气从吸附剂中释放出来,真空壁上的大量热量会传递到排气表面。此时,即使系统已经被粗略抽至20Pa,问题也无法解决,因为不足以阻止持续的热传导。
        在短时间停电的情况下,也就是氦气爆开的时候,泵就不能再工作了,需要再生。如果停电持续很长时间,水蒸气可能会从一阶段释放,淀积可能会使第二阶段的吸附剂饱和,这需要完全再生。5.运行中,检查低温泵的超压安全阀是否正常,以防止安全阀失效,对操作者和泵造成伤害。
        6、不能用低温泵抽出有毒或易爆及易产生化学反应的危险气体。因为低温表面会凝结各种蒸汽,会堆积大量沉积物。当泵被加热时,冷凝在低温表面上的一些沉积物可能相互反应或与大气反应。比如硅烷和水蒸气在77K会发生反应,造成爆炸危险。如果爆炸性气体在泵中冷凝,当泵突然加热并释放大量气体时,它们将流入抽空的系统。此时,如果电离规工作,将会出现严重的问题。
        7.低温泵的泵送能力并不是对所有气体都一样。低温泵抽氦和氢的能力比抽其他气体差很多,这在系统的组成和运行中要考虑。
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